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X射线能谱检测标适用于SEM系统中X射线能谱（EDS）相关指标参数的检测和校准，如分辨率，峰位，元素面分布图像等。元素有：锰Mn、铝Al、铜Cu 、单质碳C 、镍Ni 网等。锰Mn、铝Al、铜Cu、单质碳C都是负载在铝基底上的，直径为1英寸.
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