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BSE原子参照标样有三种可用于背散射元素成像时分辨的标准样品。该系列标样上有原子序数（Z）像差为1的两种金属成份。这样，用户就能够直观的看到背散射成像的元素分布图像。下图为铂/金标样的二次电子和背散射电子成像的对比图。
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