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FIB和离子溅射仪标样

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为了能更好的对FIB和离子溅射仪的离子枪的参数进行测试，推出了FIB和离子溅射仪标样

产品编号

成分

膜厚

基底参数

ZB-B1810

SiO2

（23 ± 0.23nm）

4”Si片

ZB-B1820

SiO2

（50 ± 2.5nm）

4”Si片

ZB-B1830

SiO2

（97 ± 3.8nm）

4”Si片

ZB-B1840

SiO2

（102.9 ± 2.5nm）

4”Si片

ZB-B1850

Si3N4

100nm

1×3cmSi片

ZB-B1860

Ta205

100nm

37×37mmTa箔

ZB-B1870

Ni/Cr

700nm

1×3cmSi片

 


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